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第249章 两手抓,两手都要硬

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沈靖又转过头去和吴博士小声交流着。

陈舟却把注意力转移到了实验装置上。

刚才,吴博士的话提醒了他。

在金刚石掺杂实验中,载流子浓度,会影响霍尔迁移率。

而霍尔迁移率便直接反应着金刚石中硼元素的掺杂程度。

此外,硼元素的掺杂,是通过向MPCVD法制备金刚石薄膜的反应室中加入硼源来实现金刚石的硼掺杂的。

硼源的话,一般会采用含硼的气体,像B2H6和B(CH3)3。

当硼的掺杂浓度较高时,制备的金刚石掺杂是包含了许多点缺陷、线缺陷和面缺陷的。

这些缺陷会捕获载流子,影响金刚石材料的霍尔迁移率,进而影响制备的硼掺杂金刚石。

“果然,无论是金刚石薄膜本身的制备,还是掺杂实验下的单晶金刚石的制备,都是矛盾的实验……”陈舟心里想到。

想了想,陈舟跟吴博士说了一声,便去n型掺杂实验那边了。

正如吴博士所说,n型掺杂比p型掺杂要难得多。

对于p型掺杂,还能参考这自然界的样本。

但是n型掺杂,只能不断摸索。

说起来,n型掺杂的磷元素,就是从氮元素、硫元素、锂元素这些,一步步摸索过来的。

磷的共价键半径是碳的1.4倍,能级位于导带底以下0.58MeV。

因为这些性质,磷在金刚石薄膜中可以形成浅能级,所以是实现金刚石n型掺杂的理想元素。

但是,n型磷掺杂金刚石的载流子迁移率仍然是远低于p型硼掺杂。

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