听到贝尔特的话，柴田吉利张张嘴，好一阵说不出话来。

一年多前，康尼精机还是光刻机领域的霸主，尔英特集团公司这样世界最大的芯片厂商晶圆厂工厂百分之七十都是用的康尼精机的产品设备。

不过这两年康尼精机的光刻机设备在华国国内就卖不动了，尤其是今年星环科技公司的这种最新型光刻机设备出来后，整个半导体业界都是掀起了无比巨大的波澜！

康尼精机株式会社内部非常清楚，星环科技公司推出的这种新型光刻机设备在技术性能上已经全面超越了他们！

康尼精机自己研制的这种气浮式工件台高精度电机驱动控制技术遇到了极大的困难，无法解决电机死区的技术难题，技术团队想尽办法都只能将精度误差做到十纳米到五纳米之间。

星环科技公司公司的这种光刻机设备双工件台大幅提升了晶圆光刻工艺的效率，并且这种工件台采用的磁浮技术以及高精度电机驱动控制技术现在更进一步，运动误差精度控制在了三纳米以下，满足了更高芯片光刻工艺技术的需求。

在对焦系统和成像系统技术上，星环科技公司公司都是用上了玄思科技集团公司的这种人工神经网络方面的算法技术，让星环科技公司公司的对焦系统对焦成功率非常非常高，而且对焦速度非常快。

另外在成像系统技术上，这套系统能够智能识别光刻工艺后的缺陷，并且自动进行光源系统能量以及工件台的微调，让光刻工艺的良率相当高。

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