“没有太大的压力。”
周晓东笑着说道:“这个还是得归功于中央方面对于激光技术的长期研发投入,我们找到了目前世界上最好的激光倍频晶体材料,这种晶体材料能够承受非常强的激光辐照,这让我们研制的准分子激光器光源系统能够输出六十瓦高品质的短波长光源。”
“这次阿斯麦尔公司推出的光刻机设备使用的光源系统输出的功率只能做到四十五瓦,在同样的光刻工艺下,我们国内的设备一次性完成,他们的设备要好几次才能完成。”
周晓东开口说道:“不过我们的设备光源系统能量很强,掩膜版需要重新设计开发,开发费用还是要比以前的掩膜版要贵一些。”
“目前国内启动的晶圆厂项目都会用上这种设备?”
韩光照开口问道。
“大部分晶圆厂都会用上,另外一部分晶圆厂会用到我们另外一套光刻机设备,那一套设备是国内第一款专门用来制造微机械传感器芯片的光刻机。”
周晓东随后陪同韩光照来到了旁边另一套设备面前。
眼前的这套光刻机设备是星环科技公司花了两年多时间才研发出来的专用设备,这套设备采用的是星环科技公司现有众多成熟的技术,另外开发出了这种双面对焦技术系统,这种特别的设计是根据玄思科技集团公司这些年来在微机械芯片设计制造工艺技术积累基础上做出来的,是独有的设计。
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