“李院长,另外我们在这种120纳米波长的光刻机设备上已经取得了突破,目前这种技术只有我们国内掌握,不过要想让这种光刻机设备真正地投入产业运用,还需要金山分院这边一起在光刻胶产品和光刻掩模技术研发上一起努力。”
周晓东对李绵红说道。
“啊,你们在光刻机设备上已经取得了这么大的进展?!”
李绵红惊喜地说道。
“这样的原型机设备要在今年下半年才能出来,不过现在不管是国内还是国外都没有这种光刻胶产品,光刻掩模版都没有,需要我们国内自己研制出来。”
“好呀!”
李绵红一拍双手,欣喜地说道:“这对我们国内半导体产业来说是一次重大的机会,一定把握住!”
他看着周晓东说道:“这样,你们的这种光刻机设备原型机一出来后金山分院这边马上采购两套过来进行光刻胶产品和光刻掩模版方面的研发工作!”
李绵红此时抬了抬鼻梁上的眼镜,对周晓东说道:“这种120纳米波长的光刻机设备你们可以将半导体芯片制程工艺推进到哪一步?”
“从理论上上来说,这种光刻机光源加上我们研制的浸没式装置技术的话可以将波长缩短到84纳米,是完全可以将制程工艺推进到5纳米以下。”
周晓东开口说道:“当然,这个还需要我们在光刻机镜头组的光学加工工艺技术跟得上,我们公司现在才堪堪追上国外最先进的光学器件加工工艺技术和检测设备,加工出了光学数值孔径超过1.1的镜头组。”
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