“钟总，想不到你们这么快就把这种氟化氩光刻机需要的镜片研制出来了。”

张京汝此时一脸震惊地对钟保国说道。

“其实国内中科院多年之前研发出了适合深紫外光的波段频谱的光电晶体材料，只不过一直没能走出实验室，我们将这方面的技术专利买了过来重新进行了改进研发，总算是研发出了出了能够匹配120纳米波长激光光源的镜片镀膜材料和镀膜工艺技术。”

钟保国开口说道。

“120纳米波长的激光光源？”

张京汝更加吃惊：“我只听说康尼精机那边研制出了157纳米的光刻机光源系统，没想到我们自己竟然研发出了更短波长的激光光源系统和镜头组！”

他当然知道光刻机光源能够使用的波长做得越小越好，不过这其中的技术难度是极大的，从激光光源系统里面挑选出需要特定波长频谱光源的光栅系统并且能够承受大功率激光光源照射且不受损伤就已经极为困难了，匹配这种光源系统的镜头组要重新进行设计，并且镜片表面抛光精度要达到极高的水平，镀膜材料的镀膜工艺技术难度之大也是超乎想象。

不过现在集团公司这边硬是攻克了下来！

“这个还是要感谢中科院在激光晶体材料上面的巨大贡献，不客气的说，国内在激光晶体材料上的基础理论研究和制备工艺技术上是世界领先的。”

周晓东笑着说道：“我们集团公司在这个上面是占了大便宜的，要是没有国内在这个技术领域数十年的技术积累，我们的研发进展也不会这么快。”

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