为了获得科技部的支持，李飞前往燕京市，与张教授解释，关于浸入式光刻机技术授权国外光刻机公司，

因为光刻机是高科技技术产品，技术是十分复杂而又精密，其产品构造是由：自动对准系统，掩膜传输系统，物镜系统，光源系统…，而这些光刻机系统，所涉及的领域：精密材料，精密芯片，精密光学…，

所以，以目前大深市芯片产业有限公司的资金和技术实力，暂时不可能研发出光刻机，

张教授点点头，表示光刻机确实是高科技，涉及的领域太广…。

李飞继续解释，如果现在把于浸入式光刻机技术授权国外光刻机公司，不光是可以控股国外光刻机公司，还可以在光刻机的专利上，卡一个位置，

这样的话，未来大深市芯片产业有限公司研发光刻机的时候。可以与尼康公司，ASML公司在光刻机技术上进行专利交叉授权…。

…

李飞就如实说出，浸入式光刻机技术授权国外光刻机公司…，现在和将来会给大深市芯片产业有限公司会带来实实在在的好处，

并且，也大概分析目前和未来光刻机市场，尼康在光刻机市场占有率第一，不过，现在被米国打压，排除由米国科技公司所组成EUV光刻机联盟…。

…

很快，尼康光刻机在市场占有率下降到10%，所以，目前，大深市芯片产业有限公司，利用浸入式光刻机技术，介入光刻机市场，是一个非常不错的时机…。

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